半導體超純水設備生產的超純水去除了水中的鹽和其他有機物，水中的離子含量很低。儲存不當會與空氣中的氧氣發生反應或被空氣污染，進而改變超純水的質量。確保半導體超純水設備產生的水質不受污染，一般來說，超純水不會儲存，而是通過循環管道直接輸送到超純水的使用點，半導體超純水設備產生的水對儲存要求較高，不要接觸空氣，否則會與空氣發生反應，造成污染。因為制備的超純水不含任何離子或雜質有機物等。只要與空氣接觸，就不可能保證超純水的質量。

使用超純水設備時，應注意以下幾點：

1.飲用超純水時，必須將初始出水排放，以獲得穩定的水質。

2.取水時，讓超純水沿氣川側壁流動，盡量不產生氣泡，減少空氣污染。

3.請不要連接終端過濾器后的軟管。只有直接取水，才能得到高純度的超純水。