電子半導體超純水設備的應用
半導體行業的生產加工過程與水的使用密不可分,這就要求水質到達一定的生產使用指標,其中不可含有任何的離子雜質。這就需要電子半導體超純水設備將水中的導電介質去除,再將水中的膠體物質、氣體和有機物去除。我們使用電導率和電阻率來表示超純水的純度。
目前,我國電子工業部把電子級水質標準分為五個標準(18MΩ·CM、15MΩ·CM、10MΩ·CM、2MΩ·CM、0.5MΩ·CM)以區分不同的水質。
1、≥15MΩ·CM電子半導體超純水設備工藝流程:
預處理系統→反滲透系統→中間水箱→中間水泵→EDI處理裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→超純水
2、≥17MΩ·CM電子半導體超純水設備工藝流程:
預處理系統→一級反滲透系統→PH調節→中間水箱→第二級反滲透系統→純水箱→純水泵→EDI處理裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→超純水
3、≥18MΩ·CM電子半導體超純水設備工藝流程:
預處理系統→反滲透系統→中間水箱→中間水泵→EDI處理裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過濾器→超純水
隨著科技研發手段的提高,新的工藝代替傳統工藝,您可以根據您所需的水質要求選擇適合您的工藝流程。
電子半導體超純水設備應用領域:
1、半導體和晶元材料的生產、加工、清洗等步驟。
2、高品質顯像管、熒光粉的生產。
3、超純材料和超純化學試劑的純水使用。
4、生產液晶顯示器屏幕時所需要的純水清理和純水配液。
5、半導體行業對材料、器材、集成電器和印刷電路板上的應用。
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